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化学气相沉积法制备铼管的研究

李靖华 , 胡昌义 , 高逸群

宇航材料工艺 doi:10.3969/j.issn.1007-2330.2001.04.012

采用化学气相沉积方法研制成功我国第一只铼管(φ12.5mm×30 mm),研究了铼管的组织结构和其他性能.金相及扫描电镜观察表明,化学气相沉积法制备的铼材基本无缺陷,密度接近理论值;维氏硬度测量值高于加工态工业铼片.化学气相沉积是一种制备铼管的可行且有效的方法.

关键词: 化学气相沉积 , 铼管 , 显微结构