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镍对多弧离子镀制备的铬基金属衬底性能的影响

王古平 , 熊传兵 , 江风益

稀有金属 doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2007.04.023

利用多弧离子镀和选择腐蚀相结合的技术在Si(111)衬底上首次制备了具有择优取向的铬基金属衬底,该金属衬底具有与外延级硅衬底一致的表面粗糙度及平整度.采用SEM,EDX,XRD和显微硬度计对铬基金属衬底进行了表征.研究表明:镍铬共镀有利于获得(110)择优取向的铬基金属衬底,同时镍铬共镀对表面形貌、显微硬度、平整度均存在一定影响.

关键词: 多弧离子镀膜 , 铬基金属衬底 , 择优取向 , 表面粗糙度