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溶胶-凝胶法制备LaNiO3薄膜及其电学性能研究

赵全亮 , 祁利辉 , 李中翔 , 何广平 , 狄杰建 , 王大伟

人工晶体学报

采用溶胶-凝胶法在SiO2/Si衬底上制备了LaNiO3薄膜,并通过改变退火温度和薄膜厚度对其微结构和电学性能进行了表征测试.X射线衍射(XRD)和电阻率测试结果表明,随着退火温度和厚度的增加,LaNiO3薄膜的结晶质量明显提高,薄膜电阻率也逐渐下降.当退火温度为800℃时,厚度为630 nm的La...

关键词: 镍酸镧 , 电学性能 , 溶胶-凝胶 , 铌锆钛酸铅