胡昌义
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尹志民
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王云
,
万吉高
,
邓德国
,
高逸群
贵金属
doi:10.3969/j.issn.1004-0676.2003.01.005
以乙酰丙酮铂为沉积源物质,采用金属有机化合物化学气相沉积(MOCVD)法在Mo基体上制备了Pt薄膜.研究了Pt薄膜的沉积速率与基体温度、乙酰丙酮铂的加热温度和运载气体(氩气)流速等沉积参数的关系.Pt的沉积速率与沉积温度之间的关系不符合Arrhenius方程:沉积速率与绝对温度的倒数呈现抛物线关系,当温度为550℃时,Pt的沉积速率达到最大值;随着乙酰丙酮铂加热温度的升高,Pt的沉积速率直线增加;而氩气流速的增大则显著减少Pt的沉积速率.SEM波谱成分分析表明,Pt薄膜中含有少量的氧.
关键词:
复合材料
,
铂薄膜
,
化学气相沉积
,
动力学
郑建华
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冯文芳
,
周锦兰
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田熙科
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俞开潮
稀有金属材料与工程
以N2、O2作载气,采用催化增强化学气相沉积(CECVO)法,于250～300℃和减压/常压下制得沉积于聚酰亚胺(PI)上的Pt,Pd/Pt和Pt/Pd金属双层薄膜.当使用Pd(hfac)2和Pt(COD)Me2为前驱体,在同一反应器内共沉积时只有Pt被沉积(钯配合物起催化剂作用),金属铂、钯顺序沉积可形成双层膜.经XPS和SEM分析了所得沉积膜的表面结构与相组成.结果表明:所有沉积层与PI衬底的粘附性能良好;沉积速率为70～80nm/h,钯、铂粒径分别为100nm和100～150nm.
关键词:
聚酰亚胺
,
催化增强化学气相沉积
,
铂薄膜
,
钯-铂双层膜
,
表征
