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BST铁电薄膜的制备及其性能的研究进展

邱滟 , 胡文成 , 李元勋 , 朱琳

材料导报

Ba1-xSrxTiO3铁电薄膜具有优良的介电性、铁电性、热释电性,得到了广泛的研究,近年来取得了很多进展.简介了BST材料的结构,并综述了BST薄膜的制备方法及BST薄膜的性能测试和影响铁电性能的几个因素.

关键词: 铁电薄膜BST , 制备方法 , 介电性能 , 铁电性能