熊惠芳
,
蒋力立
,
唐新桂
,
刘秋香
稀有金属材料与工程
在Vt(111)/Ti/SiO2/Si(100)衬底上,用溶胶-凝胶法制备出多(Pb(1-x)/100Lax/100)Ti(1-x/4)/100O3(x=28,简称PLT28)薄膜.PLT28薄膜的平均晶粒尺寸为25～30 nm,薄膜均匀致密.PLT28薄膜在300 kV/cm电场作用下,自发极化强度(Ps)、剩余极化强度(Pr)和矫顽场(Ec)分别为11.9 μC/cm2、0.77 μC/cm2和8.1 kV/cm.在外加电场363 kV/cm时,PLT28薄膜的相对介电常数与介电调谐率高达1242%和68.4%.
关键词:
溶胶-凝胶法
,
钛酸镧铅
,
薄膜
,
铁电存储器
,
介电调谐特性
翟亚红
,
李威
,
李平
,
胡滨
,
霍伟荣
,
李俊宏
,
辜科
材料导报
在分析铁电存储器工作原理以及铁电薄膜材料抗辐射能力的基础上,综述了商业化铁电存储器的发展历程以及辐射实验结果.总结了抗辐射加固的铁电存储器的研究进展以及抗辐射加固的方法,展望了抗辐射铁电存储器的应用前景.
关键词:
铁电存储器
,
辐射效应
,
铁电材料
,
铁电电容
杨艳
,
张树人
,
刘敬松
,
杨成韬
材料导报
铁电薄膜与半导体集成技术相结合而发展起来的铁电存储器与传统的半导体存储器相比有很多优点,其关键集成工艺技术有铁电薄膜制备技术、电极制备、刻蚀技术、氢阻技术、金属互连技术、钝化技术.简要介绍了这些工艺技术的研究现状,并讨论了相关工艺对性能的影响.
关键词:
铁电薄膜
,
铁电存储器
,
集成工艺
