王世敏
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王龙海
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张刚升
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赵建洪
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张端明
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李佐宜
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章天金
无机材料学报
以乙酸钾、乙醇钽、乙醇铌为前驱体，在SrTiO3（111）衬底上取向生长了KTa0.65Nb0.35O3薄膜.通过DTA-TG分析，确定了预烧工艺，发现钙钛矿结构KTN在高温（＞950℃）下可分解，产生缺钾中间相K2Ta4O11．单层凝胶膜预热处理（＞450℃），多层覆盖，慢速升降温（1～2℃／min），750℃保温2h，可得到晶粒大小分布均匀，平均直径约0．2μm、致密的薄膜．升高温度、延长时间，晶粒长大，甚至团聚，产生气孔、裂纹，烧结温度应控制在950℃以下．
关键词:
钽铌酸钾薄膜
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