许世红
,
王金清
,
刘维民
,
阎鹏勋
材料保护
doi:10.3969/j.issn.1001-1560.2003.12.004
采用直流磁控溅射技术在GCr15轴承钢底材上沉积了钼薄膜.利用XRD,AFM对不同负偏压下沉积的钼薄膜的结构和表面形貌进行了表征;利用纳米压痕仪对薄膜的硬度和膜基结合强度进行了测定;最后利用DF-PM型动静摩擦系数精密测定仪和扫描电镜(SEM)研究了薄膜的硬度、残余模量与负偏压的关系.结果表明:利用直流磁控溅射法制备的钼薄膜的硬度随负偏压的变化存在最大值,另外负偏压还影响薄膜的微结构、粗糙度以及膜基结合力,但负偏压的改变对钼薄膜的摩擦系数影响不大.
关键词:
摩擦学
,
钼薄膜
,
薄膜硬度
,
微结构
,
纳米压入
,
直流磁控溅射
