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钨钴硬质合金电化学蚀刻加工研究

吉华 , 王伟 , 田间

表面技术 doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2002.05.012

对YG6硬质合金电化学蚀刻工艺进行了研究,提出了采用光致抗蚀剂作保护膜,在生成一定钝化膜的情况下进行电化学蚀刻的方法.在一定的蚀刻深度范围内,该工艺的可控性好、腐蚀区表面质量较好.

关键词: 电化学蚀刻 , 光致抗蚀剂 , 钨钴硬质合金