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金属钨箔膜的制备研究进展

宋萍 , 邢丕峰 , 谌家军 , 李朝阳 , 谢军 , 易泰民 , 林华平

稀有金属材料与工程

具有体密度的高表面质量金属钨薄膜对材料高压状态方程研究具有十分重要的意义.综述了钨箔膜制备的几种方法,包括化学气相沉积、物理气相沉积、机械轧制、机械研磨抛光、化学抛光和电解抛光.综合比较后认为,采用电解抛光法可以基本满足状态方程靶用钨箔膜的需要.电解抛光可以制备表面质量比较高,厚度最小可达几微米的金...

关键词: 钨箔膜 , 制备技术 , 表面粗糙度 , 电解抛光