朱满康
,
代伍坤
,
侯育冬
,
严辉
,
邵明明
,
陈晓阳
人工晶体学报
doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2005.02.019
采用溶胶-凝胶工艺在Si(100)衬底上制备了Ba2 TiSi2O8(BTS)薄膜.通过XRD衍射、傅立叶红外(FT-IR)、拉曼(Raman)散射光谱和原子力显微镜(AFM)对薄膜的显微结构进行了表征.AFM分析显示,BTS薄膜表面光滑,晶粒尺寸在0.30～0.50μm.薄膜结构分析表明:随着退火温度的增加,BTS薄膜的结晶度增加,薄膜结构变得更加致密.同时,随着退火温度的升高,晶胞尺寸出现了收缩,导致了BTS薄膜的四方比c/a从0.613上升到0.618,将对薄膜的压电性能产生影响.
关键词:
铁电薄膜
,
Ba2TiSi2O8
,
钡钛硅石
,
溶胶-凝胶法
