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LTCCs用低温烧结(Zn,Mg)TiO3介电陶瓷

刘向春 , 高峰 , 许冰 , 赵鸣 , 田长生

稀有金属材料与工程

通过化学法结合固相烧结技术制备了(Zn,Mg)TiO3(简称ZMT)陶瓷,掺杂V2O5降低陶瓷的烧结温度,研究了V2O5掺杂ZMT陶瓷的低温烧结行为、相转变以及介电性能.结果表明:化学法结合V2O5掺杂有效地将钛酸锌陶瓷烧结温度从1200~1300 ℃降至900℃以下;Mg的加入增强了六方相的热稳定性,扩展了六方相的稳定区间.V2O5掺杂ZMT陶瓷具有良好的介电性能,875℃烧结的ZMT陶瓷介电常数εr=22,介电损耗tanδ=5.7×10-4,是制备LTCCs(低温共烧陶瓷电容器)的优秀候选材料,具有很好的应用前景.

关键词: 钛酸锌镁 , 低温烧结 , 热稳定性 , 相结构

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