王舒舒
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吴湘君
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光寒冰
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周淑
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张文艳
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章非敏
稀有金属材料与工程
探讨不同氮分压下磁控溅射氮化锆(ZrN)涂层对纯钛与低熔瓷粉(Vita钛瓷粉系统)结合强度的影响.60个纯钛基片随机分为1个对照组和3个实验组.实验组分别在不同氮分压下(Ta组1.0×10-2Pa,Tb组5.0×10-2Pa和Tc组10.0×10-2Pa)溅射沉积ZrN涂层.纯钛试样经表面处理后在烤瓷炉中进行烧结.用XRD检测到ZrN立方新相.万能试验机测试钛瓷试样三点抗弯强度,对照组为(26.67±0.88)Mpa,实验组分别为:Ta(49.41±0.55)Mpa,Tb(54.55±0.69)Mpa和Tc(46.24±0.53)Mpa,四组间差别均有统计学意义(P<0.05).SEM观察表明,实验组钛/瓷结合良好,钛基底残留的瓷断面数量较多,面积较大.不同氮分压下溅射沉积的ZrN涂层对钛/瓷结合的增强程度有所不同,5.0×10-2Pa下钛/瓷结合增强最为明显.
关键词:
氮化锆(ZrN)
,
磁控溅射
,
氮分压
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钛瓷
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结合强度
张惠
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郭天文
,
宋忠孝
稀有金属材料与工程
探讨采用射频磁共溅射氮硅锆(ZrSiN)涂层作为扩散阻挡层(钛与瓷间的中间层),增强钛/瓷结合强度的可行性.结果表明:ZrSiN是含纳米结晶相ZrN和非晶相SiNx的纳米复合扩散阻挡层.无ZrSiN扩散阻挡层的钛经热循环后表面明显氧化,有ZrSiN扩散阻挡层处理后的钛表面经热循环后没有氧化钛,只有锆、硅、氮和氧元素,表明ZrSiN扩散阻挡层可有效阻挡钛在瓷烧结温度下氧化.三点弯曲试验表明ZrSiN涂层还可提高钛瓷结合强度.高硅含量的ZrSiN涂层处理的钛瓷结合强度更高,这与非晶相SiNx增多有关.
关键词:
扩散阻挡层
,
结合强度
,
钛瓷
