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钎焊金刚石线锯的失效模式研究

张国青 , 黄辉 , 徐西鹏

硅酸盐通报

利用钎焊金刚石线锯在不同切割参数下对单晶硅材料进行切割,观察线锯钎料层和线锯断口形貌,结合对线锯切割受力的理论分析,研究线锯的失效模式及机理.研究结果表明,线锯的失效主要有正常失效和非正常失效,正常失效模式主要是线锯表面裂纹扩展引起的脆性断裂,非正常失效的主要模式是由于切割参数的不恰当而导致线锯的意外拉断和钎料层的脱落.

关键词: 钎焊金刚石线锯 , 失效模式 , 受力分析 , 脆性断裂