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室温磁控溅射制备(Ti,Zr)N薄膜及其性能研究

黄佳木 , 徐成俊 , 王亚平

材料科学与工程学报 doi:10.3969/j.issn.1673-2812.2005.05.011

采用直流反应磁控溅射工艺,在载波片和Al基材上制备出金黄色的(Ti,Zr)N薄膜.(Ti,Zr)N薄膜具有比TiN薄膜更高的硬度和更强的耐腐蚀性能.用XRD衍射方法和扫描隧道显微镜对薄膜的晶体结构、微观表面形貌和电子结构进行了测试分析.XRD结果表明,(Ti,Zr)N薄膜为多晶态,存在TiN和ZrN两种分离相;从表面形貌可知,薄膜表面平整,晶粒排列致密且无连接松散的大颗粒;STS谱表明,Zr掺杂后,禁带宽度仍为1.64eV,但在禁带内增加了新能级,新能级的宽度分别为0.33eV和0.42eV,这也正是掺杂Zr后,薄膜仍呈现金黄色的主要原因.

关键词: (Ti,Zr)N薄膜 , 金黄色 , 表面形貌 , 电子结构 , 多晶态

铝型材阳极氧化电解着金黄色系研究

刘娅莉 , 刘慎 , 暨调和 , 李鹂 , 刘海峰

电镀与精饰 doi:10.3969/j.issn.1001-3849.2002.02.002

研究了一种新的铝型材电解着金黄色系的配方和工艺.该工艺无需扩孔,工艺简单,通过控制着色电压和时间,可得到深浅不同的金黄色,着色膜性能良好,色彩柔和、逼真.该着色工艺可和阳极电泳工艺配套.做阳极电泳涂装前的着色处理.

关键词: 电解着色 , 铝型材 , 金黄色

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