唐武
,
邓龙江
,
徐可为
,
稀有金属材料与工程
针对磁控溅射Au金属薄膜,从实验角度研究了该薄膜电阻率与表面粗糙度、残余应力的关系,并对结果进行了分析.结果表明:薄膜电阻率随着表面粗糙度及残余应力的增加而增大.分析认为,晶体取向可能在金属薄膜力学性能和功能性之间有某种联系,并从应变能角度给予了解释.该结果为进一步探讨薄膜力学性能和功能特性的内在关...
关键词:
金属薄膜
,
电阻率
,
表面粗糙度
,
残余应力
李云双
,
曹江利
,
姚文清
,
严楷
,
陈拥军
表面技术
目的了解Au/Ni/Cu多层金属薄膜在热带海洋气候下的失效机制,为研究电子元器件表面腐蚀失效的早期预警提供参考。方法采用磁控溅射法在p型单晶Si (100)基片上沉积Au/Ni/Cu薄膜,在热带海洋气候环境下进行时效实验,采用原子力显微镜及俄歇电子能谱对薄膜失效表面与界面结构微观变化进行研究。结果时...
关键词:
金属薄膜
,
热带海洋气候
,
腐蚀失效
,
表面缺陷
,
界面结构
袁世平
,
姜培学
工程热物理学报
固态金属中的热传递是声子和自由电子共同作用的结果.自由电子引起的热导率可以通过电导率,利用Wiedemann-Franz定律得到,声子引起的热导率目前仍然不能进行实验测量,只能借助其他方法来研究.本文采用非平衡分子动力学(NEMD)方法,用镶嵌原子方法(EAM)势能模型,模拟计算了不同厚度(1.76...
关键词:
金属薄膜
,
NEMD
,
EAM
,
热导率
,
声子
唐武
,
邓龙江
,
徐可为
稀有金属材料与工程
针对Al2O3基体上磁控溅射沉积的Au/NiCr/Ta多层金属薄膜,用压痕法、滚动接触疲劳法、摩擦力和声发射两种模式同时监测的划痕法,对比研究了金属薄膜与基体的结合性能.结果表明:压痕试验从压痕形貌上很难判断薄膜与基体是否发生剥离,压入过程中也没有诱发裂纹的产生,更无法分辨薄膜层间的分离;由于金属薄...
关键词:
金属薄膜
,
压痕法
,
划痕法
,
滚动接触疲劳法
宋鹏
,
陆建生
,
周洁
,
张德丰
,
杨滨
材料科学与工艺
doi:10.3969/j.issn.1005-0299.2007.02.036
利用有限单元法对影响金属薄膜沉积初期的因素进行了计算机模拟.按膜料为Pt、Pt-Ru、Pt-Ti、Pt-Ni、Pt-Al等五种模式,采用刚性球入射到C或Si基底,重点研究了沉积原子的半径差异比、沉积原子能量和原子入射角等参数对薄膜沉积的影响,同时检验了有限元方法在微观领域中的合理性和适用性.
关键词:
金属薄膜
,
沉积因素
,
有限单元法
,
计算机模拟
孙可为
,
金丹
,
许启明
材料导报
为了寻求一种合适的研究纯金属纳米薄膜光学性质的方法,采用有效介质理论中的Maxwell-Garnett理论计算了纳米铜膜对光的反射、透射及吸收情况.结果表明,Maxwell-Garnett理论的计算结果与实验值在定性上较符合,适于对纯金属纳米薄膜的光学性质进行理论研究.
关键词:
纳米
,
光学性质
,
Maxwell-Gamett理论
,
金属薄膜