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含有柱状隔垫物彩膜基板的剥离技术

靳福江 , 王在清 , 范峻 , 刘阳升 , 曾望明

液晶与显示 doi:10.3788/YJYXS20132802.0220

介绍了一种含有柱状隔垫物彩膜基板的剥离技术.采用层数顺序方法,两步剥离工艺.第一步,采用剥离液,进行260 s,迅速剥离柱状隔垫物层;第二步,刻蚀液进行650 s和剥离液进行650 s共同作用,先后剥离玻璃基板上透明导电氧化铟锡层、颜色层,挡光层.使之剥离后成为可以再次利用的干净白玻璃.

关键词: 剥离技术 , 柱状隔垫物层 , 金属氧化铟锡 , 刻蚀液 , 剥离液

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