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金属有机物化学气相沉积法沉积镍膜的影响因素

刘世良 , 赵立峰 , 彭冬生 , 谢长生

材料保护 doi:10.3969/j.issn.1001-1560.2004.06.002

为了获得高速沉积镍膜的工艺参数,以羰基镍[Ni(CO)4]为前驱体,用金属有机物化学气相沉积法进行试验,以SEM,DSC,XRD测试分析技术探讨了载气、温度和羰基镍的摩尔分数对沉积速率的影响;也探讨了温度及羰基镍的摩尔分数对镍膜微观形貌的影响.结果表明,以氩气为载气比氦气为载气更容易获得高沉积速率;在沉积温度为150℃左右可获得沉积速率较快、微观形貌较好的薄膜;随羰基镍摩尔分数的增加,沉积速率也明显增大,同时薄膜的微观形貌也变得较为粗大,但达到30%之后,沉积速率增速减缓.

关键词: 化学气相沉积 , 金属有机物 , 羰基镍 , 镍膜

用异醇铝溶液燃烧化学沉积α-Al2O3纳米晶

张增志 , 许海凤 , 张利梅

材料科学与工程学报 doi:10.3969/j.issn.1673-2812.2004.01.009

本文提出了一种制备高性能纳米陶瓷粉体的新方法.将异醇铝溶液溶于易燃溶剂中配制成初始反应溶液,通过组合喷嘴让该溶液雾化并穿过氧-乙炔火焰,通过化学燃烧制备纳米α-Al2O3粉体.通过完全燃烧计算、雾化试验和燃烧试验,确定了溶液喷口、雾化剂(O2)喷口和氧-乙炔喷口的压力和流量的工艺参数.扫描电镜,激光测粒仪,高分辨透射电镜分析表明,用上述方法制备的纳米α-Al2O3以球形和六方棱柱为主,含极少量菱面体,颗粒尺寸为20~30nm,粒度均匀细致且分散性好.

关键词: α-Al2O3 , 纳米晶 , 燃烧 , 金属有机物

二茂铁酰胺类金属有机三阶非线性光学材料的合成

陶晓敏 , 贾建洪 , 高建荣 , 郑玉芬

功能材料

二茂铁经羧基化、酰氯化、与取代芳胺N-酰化等反应合成了7个二茂铁酰胺类金属有机三阶非线性光学材料,其中2个未见文献报道,收率41%~92%.材料结构经IR,1H NMR,MS表征确认.测定了各化合物的紫外-可见吸收光谱,简并四波混频实验检测显示该类化合物具有良好三阶非线性光学性能.

关键词: 酰胺 , 二茂铁衍生物 , 金属有机物 , 非线性光学 , 合成

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