杨莹
,
夏义本
,
王林军
,
张明龙
,
汪琳
,
苏青峰
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2004.02.015
提出采用金刚石膜/硅复合材料作为MSGC基板的可行性.采用热丝辅助化学气相沉积(HFCVD)技术和相关退火工艺获得了金刚石膜/硅复合材料,并采用SEM、Raman光谱仪、微电流仪对复合材料的表面状况、结构、I-V和C-F特性进行了表征.结果表明,该复合材料经抛光后表面平整,退火后电阻率达2.9×10 10Ω·cm,电容值小且频率变化稳定,均满足MSGC对基板材料的要求,是一种应用前景极其广泛的MSGC衬底材料.
关键词:
微条气体室(MSGC)
,
探测器
,
基板
,
金刚石膜/硅复合材料
杨莹
,
夏义本
,
王林军
,
张明龙
,
汪琳
,
苏青峰
功能材料
根据微条气体室(MSGC)探测器的工作原理,分析了MSGC基板的选择依据,同时首次提出采用金刚石膜/硅复合材料作为MSGC基板的可行性.采用热丝辅助化学气相沉积(HFCVD)技术和相关退火工艺获得了金刚石膜/硅复合材料,并采用SEM、Raman光谱仪、微电流仪对复合材料的表面状况、结构、I-V和C-F特性进行了表征.结果表明,该复合材料经抛光后表面平整,退火后电阻率达约2.9×1010Ω·cm,电容值小且随频率变化稳定,均满足MSGC对基板材料的要求.
关键词:
微条气体室(MSGC)
,
探测器
,
基板
,
金刚石膜/硅复合材料
