邵乐喜
,
刘小平
,
谢二庆
,
贺德衍
,
陈光华
无机材料学报
doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2002.01.019
采用由普通炸药爆轰制备的金刚石纳米粉对光滑硅衬底进行了涂覆预处理,研究了金刚石薄膜经涂覆和研磨预处理的两种衬底上的生长行为及其演化过程.结果表明,纳米粉处理能在显著提高成核密度的同时,大大缩短长成连续膜所用的时间;薄膜的生长由前后相继的两个阶段所构成,即确定晶面形成前球状颗粒的成长与融合和晶面的逐渐...
关键词:
金刚石纳米粉
,
CVD金刚石薄膜
,
生长行为
