马继奎
,
陈明敬
,
刘莉丽
,
闫英丽
,
张东升
,
史金超
材料导报
研究了多晶硅片表面织构化对太阳能电池电性能的影响,通过调整工艺参数得到腐蚀深度分别为2.9μm、3.8μm、4.6μm的3批样品,采用扫描电子显微镜(SEM)和光谱响应系统表征了表面形貌和反射率,分析了腐蚀深度与后续各制程的关系.对比了绒面反射率及电性能参数,确定了最佳的腐蚀深度.
关键词:
多晶硅
,
酸溶液腐蚀
,
反射率
,
转换效率
马继奎
,
陈明敬
,
王涛
,
王鹏杰
,
张东升
,
安海娇
材料导报
用化学腐蚀方法织构多晶硅片表面,通过调整制程参数获得腐蚀温度分别为12℃、17℃、22℃、29℃的4组样品,利用扫描电子显微镜(SEM)分析化学腐蚀后多晶硅片表面状态,通过反射谱的测试,分析了多晶硅片表面陷光效果,研究腐蚀温度与后续各制程参数的关系.结果表明:随着腐蚀温度的升高,绒面反射率、镀膜膜厚逐渐升高,开路电压、填充因子逐渐增大,短路电流逐渐减小,最终确定了最佳的腐蚀温度.
关键词:
多晶硅
,
酸溶液腐蚀
,
表面织构化
,
腐蚀温度
,
电性能参数
