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采用造粒原料燃烧合成Si3N4粉体

王福 , 杨建辉 , 李江涛

人工晶体学报

通过将Si/Si3N4原料造粒,采用燃烧合成工艺在较低氮气压力下(2.0 MPa)合成了Si3N4粉体.研究了原料造粒对原料孔隙率及燃烧合成反应过程的影响.实验结果表明:原料造粒后燃烧合成通过两步反应完成,通过调整Ds/DL(造粒原料最小粒径与最大粒径的比值)可以控制原料坯体的孔隙率和燃烧合成温度及速度,进而提高装料量及氮化率.

关键词: Si3N4 , 燃烧合成 , 造粒原料 , 孔隙率

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