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透明导电氧化物薄膜研究进展

望咏林 , 颜悦 , 沈玫 , 贺会权 , 张官理

材料导报

综述了透明导电氧化物(TCO)薄膜的应用和发展,重点阐述了TCO薄膜的透明导电机理以及制备工艺的最新研究进展,同时对其研究和应用前景进行了展望.

关键词: 氧化物薄膜 , 透明导电机理 , 制备工艺 , ITO , AZO