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杨盟 , 刁训刚 , 孙裔 , 刘海鹰 , 武哲 , 舒远杰
功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2006.05.022
利用直流磁控溅射技术室温下在柔性聚酯薄膜衬底上制备了ITO薄膜,将ITO薄膜与有机玻璃和空白聚酯薄膜等介质材料组合成复合结构,最终得到吸波能力较强的透明吸波体.该吸波体在Ku带(12～18GHz)范围波段衰减低于-10dB,峰值超过-20dB,且在可见光区透光率达到68%.
关键词: 直流磁控溅射 , ITO薄膜 , 透明吸波体
