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TEM观察砷化镓晶片损伤层

陈坚邦 , 钱嘉裕 , 杨钧

稀有金属 doi:10.3969/j.issn.0258-7076.1998.05.016

用透射电镜、扫描电镜对GaAs材料加工工艺中的表面损伤层进行了观察和检测. 结果切片损伤层深度≤50 μm、双面研磨损伤层深度≤15 μm、机械化学抛光损伤层深度 (腐蚀前) <1.2 μm. 分析了损伤结构及其引入的因素.

关键词: 砷化镓晶片 , 损伤层 , 透射电镜(TEM) , 扫描电镜(SEM)

轨道交通车辆用6005A合金板材时效析出及硬化行为研究

杨文超 , 汪明朴 , 盛晓菲 , 张茜 , 王正安

金属学报 doi:10.3724/SP.J.1037.2010.00223

采用透射电子显微镜(TEM),高分辨透射电子电镜(HRTEM)和硬度测试等手段对轨道交通车辆用6005A合金板材的单级时效工艺,脱溶沉淀过程中显微组织的演变以及β"相的晶体结构和取向关系进行研究分析.结果表明:合金经175℃时效12 h达到硬度峰值,随后在较长时间内可以保持一个硬度平台;在脱溶沉淀初期,合金中主要为团簇或者GP区组织,而峰时效状态,合金的显微组织以β"相为主;作为6005A合金中的主要强化相,峰值过后,β"相仍不断从基体中脱溶析出并长时间存在于合金中.此外,β"相晶体结构为C-心单斜结构,其单胞参数:a=(1.5220.04)nm,b=0.405 nm,c=(0.67±0.04)nm,β=105.26°,与基体的位相关系可以表示为:(010)β"//(001)Al,[200]β"//[230]Al,[002]β"//[310]A1.6005A合金的基本析+序列可以表示为:过饱和固溶体(SSS)→团簇→GP区→β"相→β'相+Q'相→β(Mg2Si)相+Q相.

关键词: 6005A合金 , 透射电镜(TEM) , β"相 , 微观组织 , 时效析出

电沉积纳米孪晶Ni中五次孪晶的电子显微分析

单海权 , 张跃飞 , 毛圣成 , 张泽

金属学报 doi:10.3724/SP.J.1037.2013.00443

通过直流电沉积技术制备具有高密度纳米孪晶结构的Ni,并对该材料中存在的五次孪晶结构进行了深入系统的电子显微分析.获得了纳米孪晶Ni中五次孪晶结构的HRTEM图像和SAED花样;研究了单个晶粒内部五次孪晶的结构特性、分布规律.结果表明,五次孪晶是由5个[111]晶体旋转组成,五次旋转孪晶产生的7.35°本征间隙至少由五次孪晶中的2个孪晶界分担;而且分担间隙的孪晶界呈现宽化现象,并且分解为新的孪晶,导致五次孪晶晶粒在整体形状上不具有五次对称性,呈现出一定的不规则形状.TEM截面形貌分析表明,电沉积纳米孪晶Ni呈现[110)面平行样品表面织构,晶粒为柱状晶分布,柱状生长方向为[110].通过综合结构表征,给出了五次孪晶在三维空间的结构模型.

关键词: 电沉积 , 纳米孪晶Ni , 显微结构 , 透射电镜(TEM) , 五次孪晶

碳源流量对碳纳米管厚膜形貌和结构的影响

曹章轶 , 孙卓 , 郭平生 , 陈奕卫

无机材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2006.01.013

采用低压化学气相沉积(LPCVD)在镍片上制备了厚度在400~1000μm范围的碳纳米管(CNTs)薄膜,研究了碳源(乙炔)流量对碳纳米管薄膜形貌和结构的影响.随乙炔流量的增加,碳纳米管薄膜厚度和产量增大.电子显微镜和拉曼光谱研究结果表明,在乙炔流量为10sccm下制备的碳纳米管直径分布范围最小(10~100nm),石墨化程度最高,缺陷密度最小,晶形最完整.随着乙炔流量的增大(30~90sccm),碳纳米管的直径分布范围增大(10~300nm),石墨化程度降低,缺陷密度增大,非晶化程度增加.因此,通过碳源流量可以控制碳纳米管薄膜的形貌和结构.

关键词: 碳纳米管(CNTs) , 化学气相沉积(CVD) , 扫描电镜(SEM) , 透射电镜(TEM) , 拉曼光谱

轨道交通车辆用6005A合金板材时效析出及硬化行为研究

杨文超汪明朴盛晓菲张茜王正安

金属学报 doi:10.3724/SP.J.1037.2010.00223

采用透射电子显微镜 (TEM)、高分辨透射电子电镜 (HRTEM)和硬度测试等手段对轨道交通车辆用6005A合金板材的单级时效工艺, 脱溶沉淀过程中显微组织的演变以及β''相的晶体结构和取向关系进行研究分析. 结果表明: 合金经175℃时效12 h达到硬度峰值, 随后在较长时间内可以保持一个硬度平台; 在脱溶沉淀初期,合金中主要为团簇或者GP区组织, 而峰时效状态, 合金的显微组织以β''相为主;作为6005A合金中的主要强化相, 峰值过后, β''相仍不断从基体中脱溶析出并长时间存在于合金中. 此外, β''相晶体结构为C-心单斜结构,其单胞参数: a=(1.52±0.04) nm, b=0.405 nm, c=(0.67±0.04) nm,β=105.26°, 与基体的位相关系可以表示为:(010)β''//(001)Al, [200]β''//[230]Al,[002]β''//[310]Al. 6005A合金的基本析出序列可以表示为: 过饱和固溶体 (SSS)→团簇→GP区→β''相→β'相+Q'相→ β(Mg2Si)相+Q相.

关键词: 6005A合金 , transmission electron microscopy (TEM) ,  β'' phase , microstructure , aging precipitation

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