郭玉忠
,
王剑华
,
黄瑞安
,
王贵青
无机材料学报
doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2002.01.022
通过实验测量sol-gel工艺制备的Sb掺杂SnO2薄膜载流子浓度、迁移率、电阻率、膜厚,紫外-可见光区透射率、反射率等性质,详细研究了Sb掺杂SnO2薄膜电学与光学性能.实验发现,薄膜具有良好的透光性和较高导电性,膜内载流子浓度高达1020cm-3,电阻率～10-2Ω.cm,透光率高达90%,SnO2膜禁带宽度Eg≈3.7～3.80eV.
关键词:
Sb掺杂SnO2薄膜
,
导电性测量
,
透光率与反射率
