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近空间升华法制备PbI_2厚膜及其性质研究

朱兴华 , 杨定宇 , 孙辉 , 魏昭荣 , 李乐中 , 杨维清 , 祖小涛

功能材料

采用近空间升华法在玻璃衬底上制备PbI2厚膜,研究了工艺参数对样品晶体结构、形貌和光致发光性质的影响。实验显示,沉积速率随着源温度的升高和沉积气压的下降而急剧增大。XRD谱表明PbI2膜为沿[001]晶向择优取向的六方多晶体,晶粒尺寸随沉积速率的增大而逐渐减小。同时,沉积速率增大还导致膜压应力变大,晶格常数减小,使(001)晶面衍射峰向大角度方向移动。SEM照片显示样品为(001)晶面堆积而成的片状晶粒结构,晶粒c轴与衬底平行。随着沉积速率的增大,晶粒有序性和膜致密度下降,同时(001)晶面上由于六方中心亚晶粒的出现而导致表面粗糙度大幅增大。样品的PL发光谱显示了本征发射特征,发光锋随沉积速率的增大向长波方向移动,同时峰位展宽,强度减弱。

关键词: 近空间升华法 , PbI2厚膜 , 沉积速率 , 压应力 , 六方中心 , 发光峰

CSS法制备CdZnTe薄膜时衬底温度的影响规律

袁妍妍 , 介万奇 , 高俊宁 , 查钢强

功能材料

采用近空间升华法(close-spaced sublimation,CSS),以CdZnTe化合物粉料为原料制备了CdZnTe薄膜,采用XRD、SEM、紫外光谱仪等对其进行了性能表征,并研究了不同生长温度对薄膜生长速率、结构、Zn含量和光学特性的影响规律.研究结果表明,薄膜的生长速率随着生长温度的升高而增大,且温度>528℃时生长速率迅速增大;不同温度下制备的CdZnTe薄膜结构均为立方相,且都表现出沿(111)晶面的择优生长,高温时择优取向更强一些;晶粒尺寸随着温度升高而增大,在438℃时颗粒尺寸约为1μm,而568℃时约为20tμm;薄膜禁带宽度受温度影响不大,在1.49~1.51eV之间.

关键词: CdZnTe薄膜 , 近空间升华法 , 太阳能电池 , 形貌 , 结构

CdS多晶薄膜的制备及性质研究

杨定宇 , 郑家贵 , 朱兴华 , 魏昭荣 , 夏庚培 , 冯良桓

功能材料

分别采用近空间升华法和电子束蒸发法在透明导电玻璃和普通载玻片上制备了硫化镉(CdS)多晶薄膜.对制备样品的表征结果表明:(1)两种方法制备样品都沿(002)晶向择优生长,属于六方相多晶结构,但择优取向度不同;(2)CdS薄膜表面连续而致密,粒径均匀,但两种工艺制备样品的S:Cd原子比有较大差异;(3)CdS薄膜的光能隙在2.39~2.44eV之间,电子束蒸发制备样品光能隙稍小.分析认为,两种方法制备样品的上述差异可能与衬底温度、沉积时间及成膜机制的不同相关.

关键词: CdS多晶薄膜 , 太阳电池 , 近空间升华法 , 电子束蒸发法

近空间升华法制备CdZnTe厚膜及其性能研究

苏虹 , 査钢强 , 高俊宁 , 介万奇

功能材料

采用近空间升华法在FTO玻璃衬底上制备CdZnTe多晶厚膜,并采用扫描电镜(SEM)、能谱仪(EDS)、X射线衍射仪(XRD)、紫外-可见光谱仪、I-V测试仪等对CdZnTe厚膜的表面形貌、成分、结构以及光电性能进行分析表征。结果表明,所制备的CdZnTe膜均匀致密,随生长时间的延长,晶粒尺寸明显增大;不同厚度的CdZnTe膜均表现出沿(111)晶面的择优生长;CdZnTe厚膜的禁带宽度在1.53~1.56eV之间;电阻率在1010Ω.cm数量级,具有较好的光电响应,试制的薄膜探测器可用作计数型探测器。

关键词: 近空间升华法 , CdZnTe厚膜 , 薄膜探测器 , 光电性能

近空间升华法制备CdZnTe外延厚膜及其性能研究

蔺云 , 介万奇 , 查钢强 , 张昊 , 周岩 , 汤三奇 , 李嘉伟

功能材料 doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2014.10.015

采用近空间升华法在 GaAs (100)衬底上外延生长CdZnTe 单晶厚膜,用化学腐蚀的方法去除掉GaAs(100)衬底后,对CdZnTe 外延膜上、下表面的形貌、成分、结构以及电学性能进行了表征分析。SEM和EDS 的结果表明,CdZnTe 外延膜表面平滑致密且膜中成分分布较均匀;红外透过成像分析的结果表明, CdZnTe厚膜中无明显的 Te 夹杂相;X 射线摇摆曲线、PL 谱的结果表明,随着薄膜厚度的增加,CdZnTe外延膜中的晶体缺陷减少,应变弛豫,结晶质量提高,通过增加膜厚可以获得高质量的 CdZnTe 外延膜;电学测试表明,CZT外延膜的电阻率在1010Ω·cm数量级,且具有较好的光电响应特性,可用于高能射线探测。

关键词: 近空间升华法 , CdZnTe外延厚膜 , PL谱 , 应变弛豫

大面积CdTe多晶薄膜的制备及其性能

蒋显辉 , 郑家贵 , 黎兵 , 夏庚培 , 武莉莉 , 冯良桓 , 蔡伟 , 张静全 , 李卫 , 雷智

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2007.01.014

通过研究大面积CdTe多晶薄膜沉积的升温过程,并调节石墨群边改进加热灯管的分布获得了较均匀的温场,在混合氩氧气氛下,用自行设计制造的近空间升华系统制备出了面积为300 mm×400 mm的大面积CdTe多晶薄膜,利用XRD、SEM研究其结构、成分和形貌,结果表明:CdTe薄膜呈(111)择优取向,且薄膜总体致密均匀,晶粒大小约为1 μm左右.用此大面积CdTe薄膜的不同部分制备的CdS/CdTe/ZnTe:Cu小面积太阳电池效率相差不大,说明薄膜的均匀性较好.

关键词: CdTe薄膜 , 近空间升华法 , 大面积

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