严学俭
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2001.03.017
探讨在i－C（离子辅助沉积）硬质无定形碳膜和钢基基片之间加入碳化钛（TiC）过渡层，以
增加膜/基附着力和结合强度的各种优越性。SEM（扫描电镜）和EPMA（电子探针微分析）测试显
示TiC中间过渡层与i－C层及基片的界面处的附着结合强度得以改善。划痕测试仪对该复合膜
测试则从另一方面提供了膜/基结合强度提高的证据。对该复合膜的宏观机械力学性能的测试表
明，它在提高了膜/基结合强度的同时，保持了类金刚石薄膜超高硬度和低摩擦系数的优良特性。
关键词:
过渡层界面
,
复合膜
,
附着强度
