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于玲君 , 付兴华 , 辛立强 , 崔永涛
材料导报
具有介电、铁电、压电等特性的铁电薄膜在动态随机存储器、移相器等功能器件上拥有广泛的应用前景,但其疲劳现象已成为应用的严重障碍,在衬底与铁电薄膜之间添加氧化物过渡层可以改善这种现象.综述了普通氧化物、钙钛矿型氧化物、超导氧化物等作为过渡层材料对铁电薄膜结构与性能的影响.
关键词: 铁电薄膜 , 疲劳 , 过渡层材料 , 介电性能
