戚学贵
,
陈则韶
材料科学与工程学报
doi:10.3969/j.issn.1673-2812.2001.03.005
热丝法化学气相沉积金刚石薄膜系统内, 衬底温度和碳源气体浓度是金刚石薄膜生长最为重要的参数.本文根据传热学基本原理,数值模拟了衬底表面辐照度、温度分布,讨论了衬底热传导等因素对衬底温度分布的影响,探讨了如何改善衬底温度均匀性.结果表明,考虑衬底横向热传导后,衬底表面温度分布均匀性明显优于基于辐射热平衡得到的温度分布,在一定程度上有利于生长大面积薄膜.
关键词:
热丝法化学气相沉积
,
金刚石薄膜
,
辐照度
,
热传导
,
温度场文标识码:A
杜景龙
,
唐大伟
,
李铁
,
苏国萍
工程热物理学报
针对太阳能实验研究时域限制的缺陷,设计了一套人工太阳模拟装置.首先从实验光源与太阳光的光谱符合度进行了分析,设计了用高压球形短弧氙灯代替太阳光的实验方案;然后分别对椭球聚光镜的结构设计和反光涂层进行了实验测试;最后对光源辐照度的测试方法进行了改进,设计的辐照度计是对常用的CCD相机加图像分析软件测试辐照度方法的提高.测试结果证明设计的太阳模拟装置可以用于碟式斯特林太阳热发电的实验研究.
关键词:
太阳模拟器
,
短弧氙灯
,
聚光镜
,
反射率
,
辐照度
汪爱英
,
孙超
,
邹友生
,
黄荣芳
,
闻立时
金属学报
doi:10.3321/j.issn:0412-1961.2002.11.019
热丝化学气相沉积(HFCVD)生长金刚石膜过程中,在热丝相关工艺参数取优化值的前提下,对热辐射平衡体系中衬底表面辐照度和衬底温度的空间分布进行了模拟计算,探讨了衬底横向热传导对衬底温度分布的影响.结果表明,在绝热边界和1000 K恒温边界条件下,热传导都使衬底温度的空间分布均匀性明显优于纯热辐射下的温度分布.这些计算结果为大面积高质量金刚石膜的生长进一步提供了理论基础.
关键词:
金刚石膜
,
辐照度
,
温度场
,
热传导
,
热丝化学气相沉积
汪爱英
,
孙超
,
邹友生
,
黄荣芳
,
闻立时
金属学报
热丝化学气相沉积(HFCVD)生长金刚石膜过程中,在热丝相关工艺参数取优化值的前提下,对热辐射平衡体系中衬底表面辐照度和衬底温度的空间分布进行了模拟计算,探讨了衬底横向热传导对衬底温度分布的影响.结果表明,在绝热边界和1000 K恒温边界条件下,热传导都使衬底温度的空间分布均匀性明显优于纯热辐射下的温度分布.这些计算结果为大面积高质量金刚石膜的生长进一步提供了理论基础.
关键词:
金刚石膜
,
null
,
null
,
null
