张进
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冉均国
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苟立
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苏葆辉
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廖晓明
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王兵
稀有金属材料与工程
金刚石膜的纯度和取向性对其做成剂量计后的性能有很大的影响.为了制备性能优良的金刚石膜辐射剂量,采用微波等离子体化学气相法在单晶硅[100]衬底上沉积了具有[100]和[111]晶面取向的金刚石膜,通过优化合成工艺制备出高纯、高度取向的织构膜(准单晶膜).分析金刚石膜的形貌、取向性和纯度以及器件的X光电响应特性.结果表明,金刚石膜的电阻率与纯度有直接关系,与膜取向性之间的关系不大.膜电阻率的提高是石墨相和C-H键等非金刚石相减少的结果,膜电阻率的大小直接影响到器件的信噪比高低.对X光响应的灵敏度,取向性影响较纯度大.高纯、高[100]取向膜做成的器件有高的X光响应灵敏度.
关键词:
金刚石膜
,
纯度
,
取向性
,
电阻率
,
辐射剂量计
廖晓明
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冉均国
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苟立
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苏葆辉
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张进
,
王兵
稀有金属材料与工程
针对目前金刚石膜存在电阻率低,使辐射剂量计器件的信噪比不大、X光灵敏度较低的问题,采用优化的氧等离子体和氮等离子体对生成膜进行原位后处理.结果表明:氧等离子体处理比氮等离子体更能有效的刻蚀石墨等非金刚石成分;处理后样品生成膜的电阻率可提高至少4个数量级;优化的等离子体处理工艺能提高金刚石膜对X射线的响应.
关键词:
金刚石薄膜
,
等离子体原位后处理
,
电学性能
,
辐射剂量计
张进
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冉均国
,
苟立
,
苏葆辉
,
王兵
,
廖晓明
材料导报
在辐射研究与辐射应用中准确地测量辐射剂量或吸收剂量是一项重要的工作,因此对其所用测试仪器--剂量计的要求也就十分严格.现有的剂量计主要有电离室剂量计和Si二极管剂量计,它们在使用过程中均存在许多不足之处,有必要开发新型的辐射剂量计.近年来,国内外开展了用金刚石膜作为辐射探测材料的研究,并取得了许多进展.简要介绍了该辐射剂量计的原理、研究进展及应用前景.
关键词:
金刚石膜
,
性质
,
辐射剂量计
