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李旸 , 杨滨 , 昝林寒
贵金属 doi:10.3969/j.issn.1004-0676.2004.04.009
采用离子束溅射技术,Pt和Ru双靶材通过制备工艺条件的设计,制备出含单质Pt、单质Ru及PtRu合金的纳米载体薄膜材料.采用X射线衍射、透射电镜、X射线光电子能谱等分析手段表征了薄膜材料的结构,验证了离子束溅射技术制备Pt合金薄膜的可操作性,并对Pt合金成膜规律进行了初步探索.
关键词: 金属材料 , 离子束溅射技术 , PtRu纳米合金 , 载体薄膜材料 , 结构表征
