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肖兴成 , 宋力昕 , 胡行方
无机材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-324X.1999.03.003
本文对氮化碳的结构及制备工艺如溅射、化学气相沉积、崐离子束辅助沉积、激光烧蚀等作了较为详细的总结与分析,对各种制备工艺条件下的氮化碳的性能包括力学、电学及光学性能进行了讨论,并对今后的发展趋势提出了自己的见解.
关键词: 氮化碳 , 超硬膜 , 制备工艺 , 性能
肖兴成 , 江伟辉 , 宋力昕 , 胡行方
无机材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-324X.1999.05.001
本文简要总结了近年来超硬膜研究领域中的一些最新进展, 包括超硬膜硬度的理论研究和轻元素组成的超硬膜、纳米复合膜、纳米多层膜以及它们力学性能增强效应的理论解释. 对超硬膜以后的发展趋势提出了自己的一些见解.
关键词: 超硬膜 , 硬度 , 力学性能增强效应
