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射频磁控溅射超硬TiB2薄膜的T区结构特征

戴伟 , 张同俊 , 杨君友 , 孙荣幸 , 许聚良

材料科学与工程学报

用磁控溅射技术在钢基片上沉积出具有T区结构的TiB2薄膜,研究基片偏压对薄膜的影响.使用X射线衍射技术和扫描电镜分析薄膜的特性.发现在本研究工艺条件下,所有的薄膜均呈(001)晶面择优生长.当基片偏压在-50 V时,薄膜的硬度为50 GPa,抗塑性变形的能力为0.65 GPa.加大基片偏压,导致薄膜晶粒尺寸减小,同时薄膜的硬度和抗塑性变形的能力也下降.扫描电镜分析显示,基片温度对T区结构的影响是明显的,提高基片温度,当Ts/Tm=0.18时.薄膜中出现"等轴"结构.

关键词: TiB2薄膜 , 超硬涂层 , 磁控溅射 , 薄膜区域结构模式 , 等轴结构

超硬涂层研究进展

张同俊 , 王辉

材料导报

概述了超硬潦层研完的发展,对当前的研究动向作了介绍和分析.

关键词: 超硬涂层 , 超晶格涂层 , 伪同晶生长 , β-C3N4 , Ti-B-C-N

普通硬质涂层和超硬涂层的研究进展

黑鸿君 , 高洁 , 贺志勇 , 于盛旺 , 唐宾

机械工程材料 doi:10.11973/jxgccl201605001

随着现代科学技术的不断进步，普通硬质涂层和超硬涂层有了显著的发展，部分涂层已经在某些领域实现了应用。主要介绍了氮化物、碳化物、氧化物、硼化物等普通硬质涂层和金刚石、类金刚石(DLC)、cBN、纳米多层结构涂层及纳米复合涂层等超硬涂层的性能、应用、制备技术及其发展趋势，并对部分常见涂层面临的性能改进及其今后可能的发展方向进行了探讨。

关键词: 硬质涂层 , 超硬涂层 , 应用前景 , 研究进展

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