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李宁 , 宋绪丁
材料保护 doi:10.3969/j.issn.1001-1560.2005.07.010
超硬多层薄膜的性能随调制周期的变化而发生变化,在某一范围出现超模、超硬等异常效应.由于其潜在的实际应用价值及理论意义,超硬多层薄膜成为近年来人们研究的热点.综述了近年来国内外学者对超硬多层薄膜的研究结果,介绍了其超硬多层薄膜类型、主要性能特点以及制备工艺,并对未来的发展趋势进行了展望.
关键词: 超硬多层薄膜 , 超晶格薄膜 , 纳米多层膜 , 类金刚石
宋绪丁 , 李宁
表面技术 doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2005.03.002
由于超硬多层薄膜的性能随调制周期的变化而发生变化,在某一范围出现超硬等异常效应.其潜在的实际应用价值及理论意义,使其成为近年来人们研究的热点.本文综述了近年来国内外超硬多层薄膜的研究结果,介绍了其分类、主要性能特点以及制备工艺,并对超硬多层薄膜以后的发展趋势进行了展望.
