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反应液加入H2O2制备本征SnO2高阻薄膜

郝瑞英 , 雷智 , 郑家贵 , 冯良桓 , 蔡伟 , 武莉莉 , 张静全

功能材料

在反应液中加入H2O2,用超声喷雾热分解技术制备了SnO2高阻薄膜.结合XRD图谱,方块电阻测试,透光率测试以及Tauc曲线分析的结果,发现反应液中加入H2O2制备的SnO2薄膜,膜质较好,样品在(200)晶面有明显的择优取向;电阻率有明显提高,为12~13 Ω·cm;透光率与一般的透明导电膜并没有很大差别.

关键词: H2O2 , SnO2 , 超声喷雾热分解技术

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