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制作微结构的超声复合加工机理

朱永伟 , 王占和 , 范仲俊

宇航材料工艺 doi:10.3969/j.issn.1007-2330.2008.05.017

提出了制作微结构的超声复合加工方法,分析了超声、超声复合电火花、超声复合电解微细加工机理.用微细放电组合工艺制作了多种截形微细工具电极;完善试验系统,进行了多种材料、形状微结构超声复合加工试验.结果表明:超声加工是制作硬脆材料微结构的有效方法;超声复合电火花制作金属材料微结构有较好的精度及加工稳定性;超声复合电解加工兼有效率高、精度好的技术优势.

关键词: 微结构 , 超声加工 , 电火花加工 , 电解加工 , 复合微细加工