曾海军
电镀与涂饰
介绍了一种高透光、电阻小，可用于触摸面板大型化的透明导电性薄膜的制造工艺，即在 PET(聚对苯二甲酸乙二酯)薄膜上形成肉眼不可见的铜网。其工艺流程主要包括低温等离子体表面清洗，磁控溅射Ni-Cr过渡层及Cu植晶层，硫酸盐镀铜层，光刻。所得铜布线薄膜的性能超过了一般ITO(氧化铟锡)膜的性能。
关键词:
触控面板
,
铜布线薄膜
,
聚对苯二甲酸乙二酯
,
磁控溅射
,
电镀铜
,
光刻
,
表面电阻
余崇圣
,
魏大鹏
功能材料
doi:10.3969/ji.ssn1.001-97312.0151.60.19
石墨烯具有优异的光学、电学和力学等性能而备受人们关注，但是目前石墨烯材料受产量、尺寸和均匀性等因素的限制，以至于在终端产品上还没有形成真正的应用。主要阐述了一种利用前驱气体预热化学气相沉积法（PT‐CVD）快速制备大面积单层石墨烯薄膜方法，实现石墨烯薄膜批量制备和大面积转移在300 m m ×300 m m 面积的聚对苯二甲酸乙二醇酯衬底上，并获得在400～800 n m光波段下大于95％的光透过率和（146±15）Ω／sq的方块电阻。分别利用扫描电镜、共聚焦拉曼光谱仪、紫外‐可见分光光度计和四探针设备等检测了前驱气体预热化学气相沉积法制备的石墨烯薄膜的均匀性、透过率和方块电阻等参数特性。最后，通过解决了石墨烯微纳米线路结构和真空贴合等关键技术实现了石墨烯真实多点电容式触控面板，并成功运用在55．寸手机终端产品应用上。
关键词:
石墨烯
,
前驱气体预热化学气相沉积
,
触控面板
