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KDP晶体超声辅助磨削的亚表面损伤研究

王强国 , 高航 , 裴志坚 , 鲁春朋 , 王碧玲 , 滕晓辑

人工晶体学报

通过采用角度抛光和逐层抛光法以及择优化学腐蚀,对基于超声辅助磨削的KDP晶体试件进行亚表面损伤形式观察以及损伤深度检测,以便为后续加工提供指导.损伤检测实验表明:在超声辅助磨削工艺条件下,亚表面损伤以与磨粒运动方向平行的中位裂纹为主,且裂纹间距具有一定的规律性;亚表面损伤深度为19～48 μm,磨头...

关键词: KDP晶体 , 磨削 , 超声辅助加工 , 亚表面损伤 , 角度抛光