马继奎
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陈明敬
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王涛
,
王鹏杰
,
张东升
,
安海娇
材料导报
用化学腐蚀方法织构多晶硅片表面,通过调整制程参数获得腐蚀温度分别为12℃、17℃、22℃、29℃的4组样品,利用扫描电子显微镜(SEM)分析化学腐蚀后多晶硅片表面状态,通过反射谱的测试,分析了多晶硅片表面陷光效果,研究腐蚀温度与后续各制程参数的关系.结果表明:随着腐蚀温度的升高,绒面反射率、镀膜膜厚逐渐升高,开路电压、填充因子逐渐增大,短路电流逐渐减小,最终确定了最佳的腐蚀温度.
关键词:
多晶硅
,
酸溶液腐蚀
,
表面织构化
,
腐蚀温度
,
电性能参数
M.PREMANANTH
,
R.RAMESH
中国有色金属学报(英文版)
doi:10.1016/S1003-6326(17)60096-7
钛合金的耐磨度较差,因其严重的粘着磨损倾向,不适合润滑滑动.通过织构化和表面涂层进行表面修饰,以提高钛合金基体的表面性能.硬质和耐磨涂层如TiAlN和AlCrN被应用于钛合金表面,以铬作为中间层.为了进一步提高硬质涂层的耐摩擦磨损性能,使用固体润滑剂二硫化钼沉积在硬质涂层的的微坑.采用销-盘实验对涂覆基材进行单向滑动磨损测试,以评估其摩擦性能.在3个不同的载荷、时间40 min、2 m/s滑移速度下进行测试,分析研究多层涂层的摩擦行为,如涂层结构、摩擦因数和比磨损率.在滑移初期阶段,摩擦因数较低,约为0.1,这降低了材料转移,延长了耐磨寿命.除去部分二硫化钼涂层后,摩擦因数增大到较高值,硬质复合层仍然保护基体以免磨损.
关键词:
表面织构化
,
铬层
,
硬质涂层
,
二硫化钼
,
干滑动
