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图形化技术在纳米器件制造中的应用研究进展

王守绪 , 何为 , 孙睿

材料导报

纳米器件包括纳米电子器件和纳米光电器件,是未来新型仪器、设备生产与制造的基础.因此,它们的设计、制造方法和技术受到了人们的广泛关注.介绍了用图形化技术实现纳米器件设计与制造的应用研究进展.

关键词: 表面图形化 , 纳米器件 , 纳米技术