任雯
,
梁海锋
,
蔡长龙
表面技术
doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2012.03.007
采用磁控溅射技术沉积碳钛颗粒膜,应用图形化工艺制作基于碳钛颗粒膜的表面电子发射原型器件.在幅值渐增的三角波电压作用下,器件在电压幅值低于17V时,伏安特性呈明显的线性特性,对应的薄膜表面没有变化；进一步升高器件电压幅值,伏安特性呈明显的负阻特性,同时可以观测到表面电子发射,表面电子发射最大达到7.2μA,发射效率达到了0.094 3％,薄膜表面失色,产生明显的孔洞结构.根据F-N理论拟合器件电压和发射电流,所得Ie-Vf特性曲线呈直线,表明发射电子源于场致电子发射.
关键词:
碳钛颗粒膜
,
表面传导电子发射
,
伏安特性
,
场致发射
杨小艳
,
沈志华
,
吴胜利
液晶与显示
doi:10.3788/YJYXS20142906.0911
提出一种新型结构的表面传导电子发射导电薄膜，该导电薄膜在中间位置向内有凹陷，基于电形成过程中焦耳热引起薄膜龟裂的原理，会在凹陷附近诱导纳米级裂缝形成，控制纳米裂缝形成位置.分析了此结构导电薄膜对裂缝产生位置的影响及2种不同电形成方法对裂缝形貌的影响，测试了电子发射性能，得到了发射电流特性曲线和发光图像.实验结果表明，这种新型导电薄膜能一定程度上控制纳米裂缝的形成位置，有利于改进表面传导电子发射的均匀性，在阳极高压2.0 kV、阴极板电子发射单元施加的器件电压14 V 时，新型结构导电薄膜实现了均匀发光，发射电流最大为18μA.
关键词:
表面传导电子发射
,
内陷型导电薄膜
,
电形成
