于威
,
侯海虹
,
何杰
,
王华英
,
傅广生
无机材料学报
doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2004.04.033
采用傅立叶红外吸收谱和紫外-可见透射谱研究了螺旋波等离子体增强化学气相沉积法制备的氢化非晶氮化硅薄膜的原子间键合结构和光学特性.结果表明,在不同硅、氮活性气体配比R下,薄膜表现出不同的Si/N比和H原子键合方式,富氮样品中H原子主要和N原子结合,而富硅样品中主要和Si原子结合.随着R的增加,薄膜的光学带隙Eg和E04逐渐减小,此结果关联于薄膜结构无序性程度的增加,而薄膜的(E04-Eg)和Tauc斜率B值之间存在着相互制约关系.
关键词:
氮化硅薄膜
,
光学特性
,
螺旋波等离子体增强化学气相沉积
