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金刚石膜的计算机虚拟制备技术中的分子动力学模拟

安希忠 , 刘国权 , 张禹 , 秦湘阁 , 刘俊友

功能材料

综述了近年来金刚石薄膜形成过程的分子动力学(Molecular Dynamics,简称MD)模拟研究,详细地阐述了原子间相互作用势的选取,总结了不同沉积条件下MD的计算模型和几种典型情况下的模拟结果.研究表明:在原子尺度上,MD方法能较全面地提供有关膜生长的信息,对进一步了解金刚石膜形成的微观机制以及为细观层次仿真提供基本信息均具有重要意义.

关键词: 金刚石膜 , 虚拟制备 , 分子动力学模拟 , 原子间作用势