宋鹏
,
陆建生
,
张德丰
,
周洁
,
杨滨
材料科学与工艺
doi:10.3969/j.issn.1005-0299.2007.06.023
为了从微观领域研究金属薄膜缺陷的形成和薄膜的初期生长模式,利用有限元法对金属薄膜沉积过程中的缺陷和生长模式进行了计算机模拟.以Pt原子为膜料粒子,采用刚性球入射到石墨基底,重点研究了在基底上形成的缺陷结果表明,在薄膜生长初期会形成"树桩"小岛,而当碳基底上沉积铂原子的能量值达到75 eV时,就有可能发生随机原子注入."树桩"小岛的形成使薄膜生长多为岛状生长机制,同时检验了有限元方法在微观领域中的合理性和适用性.
关键词:
薄膜缺陷
,
薄膜生长模式
,
有限元
,
计算机模拟
