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热钯丝在硅烷气氛下的奇异行为及其解释

吴瑞华 , 罗志强

稀有金属 doi:10.3969/j.issn.0258-7076.1998.06.014

报道了热钯丝在低压硅烷气氛下的奇异行为, 并给出了初步的解释. 揭示了常规热丝法薄膜淀积工艺中热钨丝易断裂的原因.

关键词: 热丝淀积法 , 薄膜硅淀积 , 固体异常核反应