杜晶晶
,
龙飞
,
邹正光
,
李建军
材料导报
以CIS(CIGS)作为吸收层的太阳能电池因其诸多优异性能而成为最具潜力的第三代太阳能电池.首先介绍了CIS(CIGS)薄膜的性能与掺杂对电池的影响,讨论了多种薄膜沉积技术及其优缺点,重点介绍了几种低成本制备技术及其影响因素,最后阐述了CIS(CIGS)薄膜电池的发展情况,并展望了CIS(CIGS)电池的发展趋势.
关键词:
CIS
,
CIGS
,
薄膜沉积
,
研究进展
李红军
,
卢振武
,
廖江红
,
翁志成
量子电子学报
doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2001.z1.007
衍射光学元件在国防、生产及科研等领域起着越来越重要的作用.使用薄膜沉积法和离子束刻蚀法制作16阶菲涅耳透镜,应用于折衍混合CCD相机.进行CCD相机光学系统成像质量评价和室外成像实验.该透镜的引入,不仅改善系统成像质量,而且实现了系统的轻量化、小型化,增加了系统设计的自由度.
关键词:
CCD相机
,
菲涅耳透镜
,
离子束刻蚀
,
薄膜沉积
,
衍射效率
韩丽君
,
谭轶平
,
江兴流
航空材料学报
doi:10.3969/j.issn.1005-5053.2002.03.012
介绍用脉冲电子束烧蚀法在不同温度的单晶硅 (110) 衬底上沉积铌酸锂铁电薄膜,以及用脉冲电子束进行薄膜晶化处理的实验结果; 使用扫描电子显微镜 (SEM)、X射线衍射(XRD)、光电子能谱(XPS) 等方法,对薄膜的成份、晶体结构及表面形貌进行分析测试.采用表面轮廓仪测定 LN薄膜的膜厚分布均匀性等.文中探讨了靶材料烧蚀和沉积过程中出现的诸多现象.研究表明,这种薄膜制备方法有许多独特之处,随着该项技术的不断改进和发展,将为光电集成电路提供一种新工艺和新技术.
关键词:
电子束
,
铁电薄膜
,
薄膜沉积
高国棉
,
陈长乐
,
陈钊
,
李谭
,
王永仓
,
金克新
,
赵省贵
材料导报
介绍了脉冲激光沉积薄膜技术的原理、特点,详细探讨了脉冲激光沉积的研究动态和发展趋势.大量研究表明,PLD技术是目前制备薄膜的最好方法之一.
关键词:
PLD
,
等离子体
,
薄膜沉积
