魏雄邦
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蒋亚东
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吴志明
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廖家轩
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贾宇明
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田忠
稀有金属材料与工程
在衬底上溅射沉积一层金属钒膜,然后对其退火制备氧化钒薄膜.研究了原位退火热处理和后续退火热处理对氧化钒薄膜成分及其热敏性能的影响.XPS分析表明,原位380 ℃退火处理得到的氧化钒薄膜中4价态和5价态钒的比例为1.097:1,经后续退火处理后,该比例变为0.53:1;同时,原位退火处理得到的氧化钒薄膜的V/O比为1:2.24,经后续退火处理变为1:2.33.AFM分析后显示,经后续退火处理的薄膜晶粒尺寸有所增大.测试了薄膜方阻随温度的变化,结果显示,生成的薄膜具有明显的金属-半导体相变;原位退火热处理后的薄膜方阻(R)为5.46 kΩ/□(25 ℃),方阻温度系数(TRC)为-1.5%/℃(25 ℃);后续退火热处理后,薄膜方阻增大到231 kΩ/□(25 ℃),方阻温度系数升高为-2.74%/℃(25 ℃).此外,就氧化钒薄膜的成分、热敏性能与退火处理之间的关系进行了讨论.
关键词:
氧化钒薄膜
,
退火
,
薄膜成分
,
热敏性能
蔡淑卿
,
滕梅
,
李吉夫
,
郑学锋
,
焦焕彩
,
吴庭富
,
宋凤立
钢铁研究学报
研究了在18 t钢包中采用喷粉方法生产的钙系与钙硫系易切削钢中非金属夹杂物对切削性能的影响.试验结果表明:以200 m/min的速度切削Y40CrCa钢时,刀具寿命比切削40Cr钢时高6～10倍;以160 m/min的速度切削Y40CrCaS钢时,刀具寿命比切削40Cr钢时高20倍.经能谱仪查明在刀具后面形成保护薄膜,它是延长刀具寿命的主要原因.
关键词:
夹杂物
,
薄膜成分
,
刀具
,
寿命
晏建武
,
潘津
,
张晨曙
,
李卿鹏
,
官刘毅
,
谢鹏
,
徐国华
材料导报
Fe-Ga合金超磁致伸缩薄膜(GMF)具有比Terfenol-D薄膜和块体Fe-Ga合金更加优越的性能,因此,对Fe-Ga GMF的研究已日益受到人们的重视.综述了目前国内外对Fe-Ga GMF的研究现状及发展趋势.主要总结了制备工艺对Fe-Ga GMF的成分、显微结构和磁致伸缩性能的影响,以及目前人们对磁畴结构和磁致伸缩系数的本构方程的研究结果.指出了Fe-Ga GMF要走向实用化必须解决的基础科学问题.
关键词:
Fe-Ga薄膜
,
制备工艺
,
薄膜成分
,
薄膜结构
,
磁致伸缩性能
彭龙
,
李元勋
稀有金属材料与工程
基于溅射理论和分子热力学理论建立了SmCo基多元合金薄膜的成分调控模型,讨论了溅射参数对薄膜成分的影响规律.随后以Sm(Co0.62Fe0.25Cu0.1Zr0.03)7.5合金为靶材,采用磁控溅射工艺在单晶Si基片上制备了SmCo基多元合金薄膜,测试了不同溅射工艺制备薄膜的成分.结果表明:通过模型计算得到的薄膜成分对溅射参数的依赖关系与实验结果吻合,验证了模型的有效性.
关键词:
溅射
,
薄膜成分
,
SmCo合金
,
稀土永磁
