周忠伟
,
李民
,
徐苗
,
邹建华
,
王磊
,
彭俊彪
液晶与显示
doi:10.3788/YJYXS20163106.0532
原子层沉积(ALD)方法可以制备出高质量薄膜，被认为是可应用于柔性有机电致发光器件(OLED)最有发展前景的薄膜封装技术之一.本文采用原子层沉积(ALD)技术，在低温(80℃)下，研究了 Al2 O3及TiO2薄膜的生长规律，通过钙膜水汽透过率(WVTR)、薄膜接触角测试等手段，研究了不同堆叠结构的多层 Al2 O3/TiO2复合封装薄膜的水汽阻隔特性，其中5 nm/5 nm×8 dyads(重复堆叠次数)的Al2 O3/TiO2叠层结构薄膜的WVTR达到2．1×10-5 g/m2/day.采用优化后的 Al2 O3/TiO2叠层结构薄膜对 OLED器件进行封装，实验发现封装后的 OLED 器件在高温高湿条件下展现了较好的寿命特性.
关键词:
有机电致发光器件
,
薄膜封装
,
原子层沉积
,
水汽透过率
张方辉
,
李欣
,
王秀峰
,
张志刚
,
张宏科
液晶与显示
doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2008.01.001
对于绿光OLED多层器件,在高真空条件下,利用真空蒸镀的方法,在各功能层蒸镀完成后,又在阴极的外面蒸镀了一层硒薄膜封装层,然后再按一般方法进行封装.对比了正常封装与增加Se薄膜封装层后器件的性能,对比实验中封装过程都未加干燥剂.研究发现未加Se薄膜封装层器件的半衰期为2 880 h,增加Se薄膜封装层器件的半衰期接近4 000 h,Se薄膜封装层的增加将器件的寿命延长了1.4倍;研究还发现Se薄膜封装层基本不影响器件的电流-电压特性、色坐标等光电性能.
关键词:
OLED
,
薄膜封装
,
寿命
