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李河清 , 蔡殉 , 陈秋龙
材料热处理学报 doi:10.3969/j.issn.1009-6264.2001.04.013
采用纳米压人技术测试薄膜(涂层)的力学性能日益受到关注.测试过程中可自动记录载荷一压深曲线,能够获取薄膜(涂层)的硬度、弹性模量、薄膜(涂层)自身结合强度、膜基界面结合强度、残留应力、屈服强度以及应变硬化率等力学性能数据.本文扼要介绍了纳米压人技术表征薄膜(涂层)力学性能的测试原理.
关键词: 薄膜(涂层) , 纳米压入 , 力学性能
